Kawasaki川崎硅片传输机械手优势：
采用伸缩结构，可兼顾向低位传递和向高位输送；
对应FOUP数：最多3FOUP。
Kawasaki川崎硅片传输机械手
       川崎硅片传输机械手通过使用锥齿轮并采用没有齿隙的紧密齿轮设计，有效减轻齿面的负担，在降低使用磨损减少噪音的同时能够提高重复定位的精度。其优势在于以微米单位的齿面啮合技术，能轻松实现碰撞检测功能及拖拽示教功能。