半导体产线上的晶圆搬运机器人，大部分都是Scara类型，该类型的减速机绝大多数是密封式内部预填脂的，没有外部注油嘴，特别是Brooks的晶圆搬运机器人，是DD直驱结构，无减速机的，且工作环境是无尘的，所以对于晶圆搬运机器人的保养，很多人没什么概念。
半导体晶圆搬运机器人保养


       其实晶圆搬运机器人也是需要保养的。洁净室并非绝对无尘，空气中还是会有微尘的，它们会如幽灵般附着在晶圆搬运机器人上。晶圆传输机器人结构复杂，存在许多隐蔽的角落和凹槽，这些容易成为清洁死角。晶圆在刻蚀、沉积、清洗等程序中，也会产生毛刺、颗粒物、化学液体等残留物，并附着到晶圆搬运机器人上，所以，晶圆搬运机器人是需要定期做清洁的，控制器上的过滤棉需定期更换。做清洁时，可顺便检查内部线缆和牙叉的磨损情况。

       晶圆搬运机器人的Z轴滚珠丝杠和滚珠花键，每运行800-1200小时，就需要涂抹点新的润滑油上去，运行满一年，则需要用无尘布把丝杠旧脂全部擦拭干净，再加新脂。不要过量打脂，溢出会污染洁净腔或晶圆。油脂需要洁净室专用的，如Krytox（杜邦）全氟聚醚洁净脂（LG2/PFPE）。

       晶圆搬运机器人减速机里的油脂，也是有使用寿命的，通常是四五年，具体时间，需自行查看手册。减速机更换润滑油，不建议客户自行操作，非标准开盖会引发破坏洁净密封、产生颗粒污染FOUP和晶圆、丢失零点等风险。

半导体晶圆搬运机器人

       晶圆搬运机器人的电池寿命时间，也需查手册作登记提醒，通常是2-3年。不要等报警才换电池，建议直接做预防性PM更换，报警后一般仅有 1-2 周缓冲时间。别以为这时间很充足，很多晶圆搬运机器人是进口的，它的电池规格特殊，国内不一定能采购得到，国外进货，时间就不够用了，就会有断电丢零点的潜在风险了。


       若你的晶圆搬运机器人的手腕有齿轮带，那就建议你2-3年就测一次张力，评估是否需要更换齿轮带，避免精度不够，误判电机或减速机的问题。