真空机器人主要运用在传送腔（Transfer Chamber）内，负责把玻璃基板在各个工艺腔之间搬运。

       Array 阵列段的成膜工序中，许多工艺是在真空腔体内完成的，具体流程如下：

       大气洁净机器人把玻璃基板送入 Load Lock Chamber→ Load Lock Chamber抽真空 → 真空机器人取出玻璃基板 → 送入 PVD 工艺腔镀膜 → 镀膜完成，真空臂取出 → 可选送到另一 PECVD 腔做另一层膜 → 全部工艺做完，送回 Load Lock Chamber→ Load Lock Chamber破真空 → 大气机器人取出玻璃基板。

       该流程确保多层薄膜连续在真空下完成，不接触空气，避免氧化、水汽、颗粒污染，保证TFT薄膜良率。

       Cluster集群设备标准组成：

       1、Load Lock（预真空锁仓 / 加载锁）：大气与真空的过渡舱。外面大气机器人把玻璃基板送进 Load Lock，锁仓抽真空后，真空机器人接手取片；

       2、Transfer Chamber（传送腔）：中心真空腔，真空机器人安装在这里，负责把基板在各个工艺腔之间搬运；

       3、Process Chamber（工艺腔PM）：围绕传送腔排布，PVD（物理气相沉积）溅射腔、PECVD（化学气相沉积）成膜腔、Dry Etch（干法刻蚀）腔，每个腔独立做薄膜/刻蚀工艺；

       4、整机控制系统：统一调度真空机器人时序、腔门开关、工艺参数。

       此外，部分离子注入工艺，也需在真空腔体内完成。

       广科智能长期回收和销售三协真空机器人。我们是为数不多的回收三协真空机器人的服务商。

       三协真空机器人很少单独出售的，通常作为Cluster 集束设备内置子部件，一起出厂的，存在高度定制，通用性低的特点。

       三协真空机器人的臂长、行程、负载、手臂形状（回旋镖臂）、刚性、末端手爪、运动时序、真空密封、温度耐受、振动指标，都需配合Transfer Chamber（传送腔）以及基板世代（G6/G8.5/G10.5）而设计。

       回收三协真空机器人服务商少的原因，还在于使用二手的，风险很高。

       真空密封件、磁流体密封、陶瓷轴承属于消耗件，真空机器人拆机后密封性能大概率衰减；拆机、运输、重装过程极易引入粉尘、损伤密封件。真空臂一旦掉粒子，直接废一整批玻璃基板，损失极大。

       回收的三协真空机器人没法快速证明：粒子水平、真空漏率、振动、定位精度是否达标；重新做SEM/粒子测试、真空保压测试成本很高。

       面板产线是24小时连续生产，对稳定性要求极高，新机的寿命，可以预测，可做相应的维保计划。二手的真空臂，出现故障的时间，难以预测，一旦意外停机，耽误生产计划，损失巨大。

       真空机器人还存在新机单价高，但残值低：一旦对应的旧世代产线退役，这一代真空臂基本就失去适用场景；面板行业世代迭代很快（LCD 收缩、OLED 扩产），旧世代线设备快速贬值。

       广科智能之所以敢回购三协真空机器人，是因为有着雄厚的技术团队，丰富的实战经验，和广大的客户。