IDX 是 Index System 的缩写，不同的厂商，有不同的中文翻译：索引传送机、步进移送机、工位分度移送系统、基板交换单元、机台接口搬送单元……

 

液晶显示面板厂IDX设备

 

       IDX设备为单台工艺设备腔体内部的LCD/OLED 大玻璃基板步进输送机构，由搬运机器人、端口 Port、防护框架、控制单元组成，主要应用在Array 段（PVD、CVD、刻蚀、清洗、曝光）、Cell 段各类设备内部，把大尺寸玻璃基板，按工位一步一步分度移动，依次经过多个处理腔 / 处理工位。

       IDX设备特点：高精度定位：保证每一片玻璃停在工位的重复定位精度，直接影响镀膜均匀、曝光对位良率。

液晶显示面板IDX设备

专业术语解析

Array：Array 阵列段，LCD/OLED 面板制造第一道核心工艺工段，行业直接叫Array 工序 / Array 厂。

Array工艺内容：在玻璃基板上面制作一大堆规则排列的 TFT 薄膜晶体管阵列，也就是像素开关矩阵。具体流程：在裸玻璃上，反复做：镀膜、光刻、蚀刻、剥离，一层一层把 TFT（薄膜晶体管）、像素电极做出来，形成密密麻麻像素开关阵列。

相关设备：光刻机、PVD、CVD、刻蚀机、IDX设备。

Cell：Cell成盒段，把 Array 基板（TFT 基板）和彩膜 CF 基板对盒，中间灌入液晶；做贴合、切割。

 

       广科智能熟悉国际主流品牌的IDX设备，如Rorze Systems、Hirata、T-Robotics、Hanwha Momentum，可提供改造、国产替代、调试、维修、保养等服务。