随着晶圆尺寸扩大、芯片制程节点持续微缩以及晶圆厂朝向无人化、自动化方向发展,半导体晶圆传输机器人的市场正快速扩展。广科智能凭借多年的半导体机器人经验,能够紧跟半导体机器人的技术前沿。

 

半导体晶圆移送机器人设备集成

 

       广科智能可为以下品牌的半导体晶圆传送机器人提供集成安装服务:

Brooks、Nidec-Sankyo、YASKAWA、Kawasaki、Robostar、JEL、RORZE、ULVAC、PHT、axcelis、ISEL、Robots and Design、Genmark、TAZMO、Hirata、PRI、Volta、Zeus、kensington、Fortrend、HYULIM Robot、Hine Automation、Rexxam、Fabmatics、He-Five LLC……

 

半导体晶圆移送机器人设备集成

半导体晶圆移送机器人设备集成

 

       晶圆机器人选型决定制程效率与长期经济性,所以挑选半导体晶圆传送机器人集成商,得看其货源有多广。

       广科智能在前道工艺设备,如光刻机、刻蚀机、薄膜沉积和检测等设备里都集成过半导体晶圆传送机器人设备集成。

 

半导体晶圆移送机器人设备集成

 

       广科智能安装过的半导体晶圆传输机器人类型众多,大气机器人、惰性气体机器人、腐蚀性气体机器人和真空机器人都有,包含单臂、双臂(双片同取同放)、翻转轴机器人、走行轴机器人、多轴系统机器人,可传送200mm和300mm的晶圆。也用复合半导体机器人替代AMHS天车系统。

       广科智能注重稳定性、易用性、兼容性、可复制性、可持续性、可拓展性,以及后期维护与优化,做的半导体晶圆传送机器人柔性集成,能适应多品种、小批量的半导体生产模式,避免频繁更换生产线,节约时间成本。

       广科智能也可以提供半导体耗材、石英材料、陶瓷材料销售,以及半导体非标设计、半导体清洗、除尘、半导体机器人操作培训等业务供应,以及维护计划,包括定期检查、润滑、校准,以及部件更换。