FOSB（前开式晶圆出货盒）搬运站工作流程：

1、APM（晶圆盒自动真空打包机）对FOSB抽真空，然后打包，最后把包裹放到传送带上；

2、WCS（仓库控制系统）给洁净机器人发送取放指令，让其将传送过来的FOSB包裹进行分拣；

3、洁净机器人通过视觉定位功能将FOSB包裹放到AGV小车平台上。

FOSB（前开式晶圆出货盒）搬运站设计图纸

晶圆工艺小知识：

FOSB：全称：Front Opening Shipping Box，中文：前开式晶圆出货盒/运输盒，专门针对 300mm（12 英寸）晶圆的跨厂运输载具。

FOSB具有抗压、防震、防颗粒污染、防潮的功能，保证长途物流运输也能洁净度。通常，硅片厂把裸硅片装入FOSB中，多个FOSB打包成一个大包裹，再运输到物流车上。FOSB运送到 IC 芯片工厂，IC 芯片工厂在洁净室里把FOSB拆包，然后把晶圆转移到FOUP（前开式统一晶圆盒）里。

FOSB与FOUP的区别：FOUP用于半导体厂内各工艺流程中，直接接入制程设备，FOSB是出门运货用的。

APM：

全称：Automatic Packing Machine，中文：晶圆盒自动真空打包机。功能：给 FOSB（前开式出货晶圆盒）套防静电铝袋、抽真空、热封，用于晶圆厂外出货，隔绝水汽、污染，之后机台自带/外接洁净机器人，视觉定位抓取 FOSB 放到 AGV 转运出库。

WCS：

全称：Warehouse Control System，中文：仓库控制系统。WCS属于中间调度层，把 管理层 WMS 的业务任务翻译成设备指令，下发给 Robot、AGV、传送带、升降机、APM 打包机等现场设备；反馈设备状态、完成信号回传给 WMS。