客户的三协硅晶片移动机械手在跑了几十片硅晶片后，取片时就会发生wafer detect error（晶片检测误差）的错误，pusher（推杆）比正常启动慢了两三秒。

     同样的SR8241机械手手臂出现抖动，LP1/4轻微抖，LP2/3严重一些，这样的故障，我们也维修过。

 

三协机器人SR8241-3042宕机维修

 

Sankyo三协硅晶片转移机器人SR8241-3042基本信息：

自由度：5-AXIS

可动范围「翻转轴」(deg)：＋/-275；

可动范围「X轴」(㎜)：-750~+750；

可动范围「Z轴」(㎜)：470；

可动范围「θ轴」(deg)：＋/-170；

最大速度「翻转轴」(rag/sec)：9.42；

最大速度「X轴」(rag/sec)：2.44(1952㎜/sec)；

最大速度「Z轴」(㎜/sec)：720；

最大速度「θ轴」(rag/sec)：6.54；

荷载：2；

重复精度：＋/-0.05。

 

三协机器人SR8241-3042宕机维修

Nidec Sankyo三协硅晶片转移机器人SR8241-3042维修好后，去现场调试