洁净室ASC储位自动化清洁系统简介
“ASC储位自动化清洁系统”外形尺寸可以依据客户工厂的“CST玻璃基板收纳盒”装置大小来定制,使之成配套。适用于日本大福STK、日本村田STK、韩国新盛STK、台湾盟立STK,以及SFA STK等等。
“STK智能仓储系统”能够通过ASC上的条形码给识别每一个ASC。
当STK取放机(Crane)的机械手臂(Fork)提取ASC主体时,ASC就会侦测到这个机械手臂,就开始做吸尘程序,吸取CST玻璃基板收纳盒里面的尘埃,保证将要被加工的玻璃基板是一尘不染的。
ASC储位自动化清洁系统吸尘组分两部分:
1.清洁卡匣与Crane接触位置吸取点;
2.清洁卡匣与棚位接触位置吸取点;
通过STK Crane搬送时机构接触到清洁卡匣前后吸取接触点集尘,减少粉尘颗粒产生进而净化整个STK智能仓储系统内部环境。
ASC储位自动化清洁可选配功能:湿度检测、风速检测、VOC、震动检测、温度检测
Stocker Crane Fork→Cleaner CST镭射传感器感知Crane Fork→Cleaner CST开始吸取Fork particle 15sec→Cleaner CST开始吸取Shelf load arm 15sec→脱离Fork与Shelf load arm停止
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