液晶行业STK作为工厂自动化物流仓储系统，洁净度要求格外严格，传统尘埃颗粒监测方式是人工手动通过尘埃粒子计数器（Particle Counter）定时检测STK内部尘埃颗粒数据并记录，这种方式效率低、全面性差，准确率不高，浪费人力、产能，不利于提升液晶面板良率。

PMS（Particle Monitor System）在线粒子检测系统是将尘埃粒子计数器安装在CST玻璃基板收纳卡匣里，然后增加供电和无线通讯系统。将PMS连接到STK内进行CST玻璃基板收纳卡匣各个位置检测尘埃颗粒，统计参数，通过无线通讯方式将数据上传到PMS服务器，或者到上位机。PMS可实时接收检测事件，包括时间、位置、检测数据（可设警戒线报警），洁净室工作人员可远程监测尘埃颗粒参数并保留LOG。PMS在线粒子检测系统大大提高检测准确率，提高效率，节省人力，保障液晶面板正常生产。

PMS在线粒子检测系统可选配功能：温度检测、湿度检测、风速检测、震动检测、VOC。

PMS在线粒子检测系统的S/W系统架构与H/W系统架构

S/W系统架构示意图

H/W系统架构示意图

PMS在线粒子检测系统的控制流程示意图

 u 终端设备采样及相关控制

u 数据上抛及暂存

u 摄像头控制

u 终端设备管理

n 根据排程进行点位控制

n 异常管理

n 排程管理

n 点位数据上抛

PMS在线粒子检测系统规格要求

软件系统根据客户提供Particle Count Interface Specification规范，采用C#编写，与上位MES采用TIBCO协议通信或是HSMS协议通信，与PLC进行EIP和CC-LINK通信，完成所需数据传输。

1、PMS能够将拍摄的视频保存至服务器，支持定点回放功能、快进快退（x1 x2 x4 x8 速度）功能；

2、视频保存时间要求 3 个月；

3、可根据不同的洁净度等级筛选超标数据；

4、PMS测试数据可生产数据分析图表等功能；

5、报表可区分STK、IDX数据，根据测试结果计算总合格率、STK合格率、IDX合格率；

6、PMS测试前后均可对数据编辑STK储位信息；

7、PMS系统可监测电池电量、尘埃粒子计数器实时状态。

PMS在线粒子检测系统CST玻璃基板收纳卡匣与物流设备的整合示意图

PMS在线粒子检测系统除了监测尘埃颗粒，还可以监控温湿度、风速、TVOC、震动、“行车记录”等。