日本TAKASAGO高砂曝光机异物检知的LED直流电源ZX-800LA界面：

EXTENDED RANGE DC POWER SUPPLY 0-80V/0-80A 800W

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TAKASAGO ZX-800LA LED直流电源

 

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在液晶显示屏的生产制造过程中，要经过一道利用曝光机对玻璃基板进行曝光的工序，接近式光刻机的掩膜板与玻璃基板之间存在一个微小的曝光间隙，然后通过平行光(UV)的照射在该曝光间隙中进行曝光，如此一来，可以有效避免掩膜板与玻璃基板直接接触而引起对掩膜板的损伤。

 

对于玻璃基板曝光过程而言，曝光间隙的数值越小越好，但曝光间隙越小对玻璃基板的洁净程度的要求也越高。当异物进入到曝光间隙中或者落在玻璃基板上时，若是没有及时发现异物的存在而进行曝光的话，那么基板上的异物很有可能在曝光时对掩膜版造成污染甚至划伤，或者在曝光后产生质量不合格的产品，这两种情况都将导致生产成本的升高并浪费工时。所以这道工序还需要曝光机异物检知装置。当前的接近式曝光机在曝光前都会有异物检知装置，来检测异物的大小，当检知到的异物高度值大于曝光间隙时，会报警判涂布玻璃基板为非工作状态，不进入曝光程序。