无尘车间灯管分为白色灯管和黄色灯管两种,能有效抑制400~500nm以下波长的紫外线释放,广泛应用于不需要紫外线的场所。液晶产业无尘光刻间是不能有紫外线的,否者玻璃基板上的透明导电图形容易报废。液晶产业无尘室光刻间的灯管通常采用HID高压气体放电灯,若是该照明系统除了故障,那么对光刻加工工序影响非常大。

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图为广科智能工程队现场维修STK智能仓储系的HID高压气体放电灯系统的VAHLE法勒集电器。德国VAHLE(法勒)是一家专门从事移动供电和数据传输设备的公司,创立于1912年,总部设在德国卡门。VAHLE(法勒)的移动供电和数据传输设备可应用于多种领域主要应用于起重机械(常规)、自动仓储系统、自动化生产线,港口等。

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图为广科智能工程队现场维修STK智能仓储系的HID高压气体放电灯系统 LDS-2691A基板