液晶产业洁净工厂FFU净化单元更换

液晶产品在制造、生产过程中对室内空气环境和品质的要求极为严格，主要控制对象为微粒和浮尘，同时还对洁净室环境的温度、湿度、新鲜空气量、噪声等作出了严格的规定。

玻璃基板表面蒸镀有一层 In2O3 或 SnO2 透明导电层，即 ITO 膜层，经光刻加工制成透明导电图形。若是有积尘，将会很明显，甚至致使器件报废。

依据美国联邦政府颁布的标准【zhiFederal Standard (FS) 209E, 1992】，可将无尘室分为六级，分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级。需要达到10级，10级无尘车间的标准是每立方英尺室内的空气所含有大于或等于0.1μm的灰尘粒子不超过350颗，大于或等于0.3μm的灰尘粒子不超过30颗，大于或等于0.5μm的灰尘粒子不超过10颗。

要让液晶产业工厂达到10级无尘车间的标准，就需要用到净化设备了，比较常见的是FFU净化设备了，FFU是Fan Filter Units的简称，意思是风机过滤单元，是一种自带动力，具有过滤功能的末端送风装置；风机从顶部将空气吸入并经HEPA高效空气过滤器过滤，过滤后将洁净空气从出风面均匀送出，为洁净环境提供洁净空气和微粒过滤控制。