TFT-LCD面板行业的高世代化,对洁净车间的设计提出了更高的要求,各项洁净技术指标要求也随之升高。液晶器件产品的生产一般要求洁净车间清净度10000级以上的, 局部工艺要求100级以上。根据工艺要求分为4 个区: A区为人身净化及部分辅助办公用房;B区为净化车间生产区;C区为动力设施区;D区为仓储用房。

玻璃基板的表面积大,容易落上灰尘,所以存储、搬运、加工过程中要避免尘埃附着。TFT-LCD阵列工程是在厚度不足1毫米的玻璃基板上制作细且复杂的TFT层,由于这一工序决定液晶显示器品质的至关重要的工程,需要尽可能地避免灰尘的污染及振动影响。
为了达到液晶面板洁净车间的洁净要求,就需要对新进入洁净车间的空气进行过滤,确保洁净车间不被污染。而如何鉴定洁净车间洁净度是达标的,肯定不能用肉眼来观察判定,需要用到专业的粒子监测器,比较常用的有PMS在线粒子连续监测系统。

PMS在线粒子连续监测系统

美国粒子监测系统公司 (PMS)是一家专注于环境粒子及微生物监测技术研究的公司,产品主要用于洁净室的污染监测及控制。PMS可在清洁环境中计算粒子数量,并形成报表。PMS能够在洁净室持续监测,最小可监测粒径 10nm以下的粒子,一旦空气中尘埃超标,就能够发出警报,让管理员及时发现和处理,避免液晶产品品质下降,提高效益。