Brooks布鲁克斯机械手

BROOKS真空机器人特点：

1、可在真空集束机台里输送晶圆；

2、可传送300mm 的晶圆；

3、拥有专利BiSymmetrik的双末端执行器；

4、可用于本地和远程监视和诊断的高级固件；

5、符合CE和SEMI S2。