YASKAWA安川双臂真空晶圆传送机械手

YASKAWA安川双臂真空晶圆传送机械手

安川真空晶圆搬运机械手特点:

1、适用于真空腔室内的晶圆搬运；

2、牙叉材质：CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质；

3、配备动作监视器；

4、S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆；

5、手臂关节处使用磁流体密封装置；

6、真空密封：磁流体密封装置和波纹管；

7、手臂内部排气口安装5μm级过滤器。