广州市广科智能技术有限公司成立于2017年，专注半导体、光电显示、光伏、储能领域，精通生产设备的改造、维修、保养，尤其是玻璃基板移载机器人、晶圆移载机器人以及真空机器人方面，我司有从事软硬体十年以上工作经验人才，对Nidec-Sankyo、YASKAWA、Hyundai、DAIHEN、Brooks、ROBOSTAR、RORZE、Kawasaki、JEL、SAMSUNG、Genmark、TAZMO等机器人有着丰富的实战经验。

广科工程队熟悉半导体显示（TFT-LCD 液晶显示、OLED有机发光显示、Mini LED直显、 Micro LED）的各种工艺，尤其是薄膜沉积（CVD/PVD）、光刻刻蚀、清洗、RGB色阻涂布、贴合、灌晶、薄化、偏光片贴附、驱动芯片绑定等需要机器人转运基板的工序。

广科工程队熟悉芯片产线的工艺，尤其是薄膜沉积、刻蚀、光刻、离子注入、扩散/退火、化学清洗、量测与检测、FOUP晶圆盒传输、晶圆减薄/研磨、晶圆划片/切割、晶圆贴膜/撕膜等需机器人转运晶圆的工序。

广科拥有 AMHS 自动化物料搬运系统维修保养及改造的专业团队，长期为大福、村田、新盛、盟立、SFA 等国际主流 STK、LIFTER、IDX、DSPK 设备提供改造、维修、保养服务。与多家主流 AMHS 厂商有这多年的稳定合作关系。

业务范围

一、液晶面板、半导体行业自动化项目

AMHS 设备维修、保养、改造；

STK 设备维修、保养、改造；

LIFTER 设备维修、保养、改造；

IDX 设备改造及移机；

DSPK设备改造及移机；

ASC储位自动清洁系统调试安装；

FFU 洁净单元维修、保养、销售；

PMS粒子系统监测维修、保养、销售；

组建非标自动化团队研发洁净设备。

二、真空蒸镀机维修、保养

三、工控设备维修、保养、销售

洁净机器人维修保养，本体及备件销售；

真空机器人维修保养，本体及备件销售；

伺服电机、伺服驱动器、变频器、PLC控制器等工控设备维修销售。

服务品牌

大福DAIFUKU、村田Muratec、新盛shinsung、盟立MIRLE、SFA、川崎Kawasaki、安川YASKAWA、三协SANKYO、现代HYUNDAI、Robostar罗普伺达、达谊恒DAIHEN、那智nachi、布鲁克斯Brooks、ABB、库卡KUKA、JEL、发那科FANUC、三星SAMSUNG、阿克塞利斯axcelis、爱发科ULVAC、伊赛奥ISEL、Genmark、TAZMO、rorze、Hirata、三菱MITSUBISHI……