Nidec三协液晶面板搬运机器人

Nidec三协液晶面板搬运机器人

       母玻璃基板的薄膜处理、蒸镀等工艺需要极高洁净度的真空环境,因此,搬运母玻璃基板的机器人也必须具备能承受真空环境的性能。

       在真空环境下工作的机器人,其各个关节都内置了密封装置,以防止空气和灰尘等从机器人的齿轮箱等内部逸出。但加装密封装置,通常下会导致可动关节自由度降低。为此,三协真空机器人采用了与减速机一体化的磁性密封件,可以将密封件的使用数量控制在最小范围,确保了与大气环境版同等的自由度。为了满足显示面板厂家的需求,产品线包括回旋镖式和SCARA式两种臂型,两种臂型采用的是可以通用的单元,有效地控制了成本。